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放大率	X20-X80000
分辨率	7nm (at 20Kv,SE圖像)
加速電壓	1-20Kv (1/3/5/10/15/20Kv)
電子槍	鎢絲 (W)
檢測器	SE檢測器 (選項:BSE,EDS)
樣品臺	X:35mm (自動化)，Y:35mm (自動化)，R:360˚，Z:0-50mm
樣品尺寸	45mm (H),60mm (直徑)
圖像模式(像素)	RED(320x240), TV(640x480), Slow(800x600), Photo(1280x960, 2560x1920, 5120x3840)
幀速率	RED (Max. 30 frames/sec), TV (Max. 10 frames/sec), Slow (Max. 2 frames/sec)
真空系統(tǒng)	渦輪高真空泵
自動功能	調(diào)焦，燈絲，亮度/對比度
系統(tǒng)	Windows 7
操作	鍵盤/鼠標(biāo)
尺寸	400(W) x 600(L) x 550(H)mm, 100kg